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发明名称 INEN IONENSTRAHL
摘要
申请公布号 DE602005021628(D1) 申请公布日期 2010.07.15
申请号 DE200560021628T 申请日期 2005.04.05
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES INC. 发明人 VANDERPOT, JOHN;BERRIAN, DONALD;POLLACK, JOHN
分类号 H01J37/317;A61N5/00;B65H1/00;H01L21/00;H01L21/687 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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