| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR DYNAMISCHEN AUSRICHTUNG VON SUBSTRATEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT473475(T) |
申请公布日期 |
2010.07.15 |
| 申请号 |
AT20060008154T |
申请日期 |
2000.11.22 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
MOORING, BENJAMIN W.;FREUND, CHARLES W. |
| 分类号 |
B25J9/06;G05B19/408;G05B19/401;G05B19/402;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/68 |
主分类号 |
B25J9/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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