发明名称 晶片蜡粘接设备
摘要 本实用新型涉及一种晶片蜡粘接设备,它包括粘接平台、设置在粘接平台上的处于同一水平面的加热台和加压台,加压台的上端设置有由气缸以及固定在气缸杆下端的压盘构成的施压装置,在粘接平台上设置有由手柄、推板和导轨构成的推送装置,推板设置在加热台的侧端,推板和手柄固定连接,推板设置在加热台上并可在导轨上滑动,推动手柄可带动加热台在粘接平台上移动。本实用新型蜡粘接台利用推料板将加热后的载片盘和晶片沿导轨推至加压台,避免了人工直接对晶片的接触和搬运,能够减少对晶片的损伤。
申请公布号 CN201527964U 申请公布日期 2010.07.14
申请号 CN200920254461.6 申请日期 2009.11.16
申请人 中国电子科技集团公司第四十五研究所 发明人 陶永军;高慧莹;陈学森
分类号 H01L21/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 代理人 董金国
主权项 一种晶片蜡粘接设备,其特征在于其包括粘接平台(15)、设置在粘接平台(15)上的处于同一水平面的加热台(3)和加压台(8),所述的加压台(8)的上端设置有由气缸(4)以及固定在气缸杆(5)下端的压盘(6)构成的施压装置,所述的加热台(3)由隔热板(12)、设置在隔热板(12)上的电热板(10)以及设置在电热板(10)上端的台板(9)构成,在粘接平台(15)上设置有由手柄(1)、推板(2)和导轨(11)构成的推送装置,所述的推板(2)设置在加热台(3)的一端,导轨(11)设置在加热台(3)的两侧,推板(2)和手柄(1)固定连接,推板(2)设置在加热台(3)上并可在导轨(11)上滑动,推动手柄(1)可将加热台(3)上的载片盘(13)移动到加压台(8)上。
地址 065201 河北省三河市燕郊经济开发区海油大街20号