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发明名称
摘要
申请公布号 JP4503107(B2) 申请公布日期 2010.07.14
申请号 JP19980287037 申请日期 1998.10.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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