一种溶液法制备CuAlO₂薄膜的方法

摘要

一种溶液法制备CuAlO2薄膜的方法，首先将一水乙酸铜加入乙二醇中得溶液A；然后向A溶液中加入九水硝酸铝后调节pH值为2.0～4.0，形成均匀的前驱物溶液B；将硅基板加热至300～400℃，然后用滴管将前驱物溶液B滴加至硅基板上，待溶液B自动铺满基板后，将基板平铺放入干燥箱中在50-70℃下干燥；将镀膜后的硅基板在1100～1200℃下煅烧，最后随炉冷却至室温，即得到了CuAlO2薄膜。本发明采用溶液法制备CuAlO2薄膜，采用溶液法不仅制备成本低，而且操作简单、反应周期短，整个制备过程无需昂贵的真空装置，所以该方法能够低成本高效的得到CuAlO2薄膜。

主权项

一种溶液法制备CuAlO2薄膜的方法，其特征在于：步骤一：首先将分析纯的一水乙酸铜加入乙二醇中配制成Cu2+浓度为0.1mol/L～0.5mol/L的蓝色透明溶液，所得溶液记为A；步骤二：然后向A溶液中加入分析纯的九水硝酸铝，使得(Cu2+)∶(Al3+)＝1∶1的摩尔比，并不断搅拌，同时加入摩尔分数为0.5％～1.0％的HCOOH试剂，搅拌下调节pH值为2.0～4.0，形成均匀的前驱物溶液B；步骤三：将硅基板加热至300～400℃，然后用滴管将前驱物溶液B滴加至硅基板上，待溶液B自动铺满基板后，将基板平铺放入干燥箱中在50-70℃下干燥；步骤四：将镀膜后的硅基板在1100～1200℃下煅烧3-5h，最后随炉冷却至室温，即得到了CuAlO2薄膜。