用于多透射率光掩模结构的镶嵌的方法和所得结构

摘要

本发明公开了一种光罩器件。该光罩器件具有石英衬底，所述石英衬底包含表面区域。在所述表面区域的第一部分上形成第一区域，所述第一区域包含多个也被称为二元掩模图案的不透明掩模图案。在所述表面区域的第二部分上的第二区域，所述第二区域包含多个第一衰减相移掩模图案。在所述表面区域的第三部分上的第三区域，所述第三区域包含多个第二衰减相移掩模图案。因此，该光罩器件具有至少三个对应不同光学特性的不同区域。

主权项

一种光罩器件，包括：一个石英衬底，所述石英衬底包含表面区域；一个第一区域，位于所述表面区域的第一部分上，包含多个二元掩模图案；一个第二区域，位于所述表面区域的第二部分上，包含多个第一相移掩模图案；和一个第三区域，位于所述表面区域的第三部分上，包含多个第二相移掩模图案，其中，所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域是彼此分离的不同区域，其中，所述第一相移掩模图案的特征是具有第一透射率，所述第一透射率为32％，第二相移掩模图案的特征是具有第二透射率，所述第二透射率为6％。