图案化介质母图案和磁介质盘及其形成方法和装置

摘要

本发明公开一种形成图案化介质母图案和磁介质盘的方法。该方法包括：使用电子束光刻形成盘上的同心环的化学对比度图案，其中所述同心环的间距等于目标道节距的整数倍，所述环包括在伺服扇区头部内的区域，该处所述环径向偏移一部分道节距；进行自组装以在化学对比度图案上以目标道节距形成新的环图案，包括在所述伺服扇区头部中的径向偏移；以及将所述新的环图案转移到磁介质盘以形成所述磁介质盘上的数据道，所述数据道通过非磁槽分隔开，所述非磁槽和所述数据道包括径向偏移区。

主权项

一种形成图案化介质的母图案和磁介质盘的方法，包括：a、使用电子束光刻形成盘上的同心环的化学对比度图案，其中所述同心环的间距等于目标道节距的整数倍，所述环包括在伺服扇区头部内的区域，该伺服扇区头部内的区域处所述环径向偏移一部分道节距；b、进行自组装以在所述化学对比度图案上以目标道节距形成新的环图案，其包括在所述伺服扇区头部中的径向偏移；c、将所述新的环图案转移到磁介质盘以形成所述磁介质盘上的数据道，所述数据道通过非磁槽分隔开，所述非磁槽和所述数据道包括径向偏移区。