In-Line-Vakuumbeschichtungsanlage

摘要

Die Erfindung betrifft eine In-Line-Vakuumbeschichtungsanlage mit einer Vakuumkammer, einer Beschichtungsquelle sowie einem durch die Vakuumkammer verfahrbaren Substratträger (Carrier) zur Aufnahme von rohrförmigen Substraten. Mit der Erfindung soll bei einer In-Line-Vakuumbeschichtungsanlage eine einfache und sichere und verschleißarme Kopplung eines fest stehenden Drehantriebes mit einem mit konstanter Geschwindigkeit verfahrbaren Carrier gewährleistet werden. Erreicht wird das durch eine ortsfest installierte drehbare und mit einem Drehantrieb verbundene Zahnwelle (10) und ein mit der Zahnwelle (10) in Eingriff bringbares und am Carrier (6) drehbar gelagertes Zahnrad (11), welches federbelastet entgegen der Fahrrichtung (12) des Carriers (6) um einen vorgegebenen Betrag längs verschiebbar ist.