| 主权项 |
基于谐振频率法的MEMS薄膜泊松比在线测量方法，其步骤是：制作一个圆环形MEMS薄膜作为测试结构，其内边界固支在锚区上、外边界自由；锚区固定在衬底上；测量出圆环形MEMS薄膜的径向振动和横向振动的谐振频率，然后用下式计算MEMS薄膜泊松比： <mrow> <mrow> <mo>(</mo> <mo>-</mo> <mn>0.5894</mn> <mo>*</mo> <msup> <mi>V</mi> <mn>2</mn> </msup> <mo>+</mo> <mn>2.3321</mn> <mo>*</mo> <mi>v</mi> <mo>+</mo> <mn>12.3780</mn> <mo>)</mo> </mrow> <mo>*</mo> <mi>h</mi> <mo>*</mo> <msub> <mi>f</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>-</mo> </mrow> <mrow> <mn>2</mn> <mo>*</mo> <msqrt> <mn>3</mn> </msqrt> <mo>*</mo> <mi>a</mi> <mo>*</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mo>-</mo> <mn>0.1405</mn> <mo>*</mo> <msup> <mi>v</mi> <mn>2</mn> </msup> <mo>+</mo> <mn>0.7444</mn> <mo>*</mo> <mi>v</mi> <mo>+</mo> <mn>2.9728</mn> <mo>)</mo> </mrow> <mo>*</mo> <msub> <mrow> <msub> <mi>f</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>=</mo> <mn>0</mn> <mo>.</mo> </mrow> <none/> </msub> </mrow> |
