具有提高的温度灵敏度的SAW扭矩及温度传感器

摘要

一种非接触式基于SAW的扭矩和温度传感器，包括提供在由Y+34°切石英制成的基板上的第一(2)和第二(3)SAW谐振器。第一SAW谐振器(2)使它的主轴相对基板的X轴成+45°倾斜，在使用中，基板的X轴与扭矩被测量的装置的纵轴对准或垂直，第二SAW(3)使它的主轴相对基板的X轴成-45°倾斜。第三SAW(4)使它的主轴相对基板的X轴以30°的角度倾斜。每一个所述的SAW谐振器(2，3，4)都是通过在基板上放置具有厚度(h)的铝膜而形成，且SAW谐振器具有平均操作波长λ，其中比率h/λ在0.021到0.032的范围内。

主权项

一种非接触式基于SAW的扭矩和温度传感器，其包括提供在由Y+基本上34°切石英(即，就旋转角度而言，以Y+34°或与其接近)制成的基板上的第一和第二SAW谐振器，所述第一SAW使它的主轴相对基板的X轴成基本上+45°倾斜，在使用中，基板的X轴与扭矩要被测量的装置的纵轴对准或垂直，且所述第二SAW使它的主轴相对基板的X轴成基本上45°倾斜，且该传感器进一步包括第三SAW，其使得它的主轴相对基板的X轴以基本上等于30°的角度倾斜，其中，每一个所述的SAW谐振器通过在基板上放置具有厚度(h)的铝膜而形成，且所述SAW具有平均操作波长λ，其中比率h/λ在0.021到0.032的范围内。