平面精度测量仪

摘要

本发明公开了一种测量厚度、平面度与平行度误差的平面精度测量仪，可精确测量被测工件的厚度、平面度与平行度误差。该平面精度测量仪，包括测量板以及位于测量板上的测量装置，测量板下方设置有用于支撑测量板的支架，在测量板上设置有至少三个不在一条直线上且凸出于测量板上表面的支撑凸起。由于不在一条直线上的三点可确定一个平面，因此，任意三个凸出于测量板上表面的支撑凸起就形成一个用于支撑被测圆刀及有关工具的支撑平面，并以该支撑平面为基准，可精确得到被测工件的厚度误差(即平行度误差)与平面度误差，其不受测量板是否平整的影响，从而可大大提高测量的精度，尤其适合在用于测量厚度、平行度与平面度误差的测量装置上推广使用。

主权项

平面精度测量仪，包括测量板(1)以及位于测量板(1)上的测量装置，测量板(1)下方设置有用于支撑测量板(1)的支架(5)，其特征是：在测量板(1)上设置有至少三个不在一条直线上且凸出于测量板(1)上表面的支撑凸起(2)。