石英晶片低温频温曲线测试装置

摘要

本发明涉及一种石英晶片低温频温曲线测试装置，由晶片试验装置、铂电阻、电路组件、频率测量系统和电缆线组成，晶片试验装置包括晶片安装板(1)、温控法兰(2)、加热片(3)和温控盖板(7)，晶片安装板(1)整体呈倒置的π形，突台式温控法兰(2)扣在晶片安装板(1)上，形成一个放置被测晶片的空间，温控法兰(2)的上部设置有圆形的加热片(3)，加热片(3)的上部设置有圆形的温控盖板(7)，突台外的圆形底板上均布有数个与冷屏的安装孔(9)，可以通过螺钉将温控法兰2的外圈与冷屏接触且固定。本发明填补了国内空白，采用冷屏降温、加热片升温的方式，可以高精度的测试晶片性能。

主权项

一种石英晶片低温频温曲线测试装置，由晶片试验装置、铂电阻、电路组件、频率测量系统和电缆线组成，晶片试验装置包括晶片安装板(1)、温控法兰(2)、加热片(3)和温控盖板(7)，其特征在于，晶片安装板(1)整体呈倒置的π形，温控法兰(2)是一个突台法兰，扣在晶片安装板(1)上，形成一个放置被测晶片的空间，温控法兰(2)的上部设置有圆形的加热片(3)，加热片(3)的上部设置有圆形的温控盖板(7)，加热片(3)和温控盖板(7)的直径与突台的内径相同，突台外的圆形底板上均布有数个与冷屏的安装孔(9)。