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经营范围
发明名称
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号
KR100967923(B1)
申请公布日期
2010.07.06
申请号
KR20080003358
申请日期
2008.01.11
申请人
发明人
分类号
H01L21/324;H01L21/02;H01L21/20
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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