Verbundsubstrat und Verfahren zur Ausbildung eines Metallmusters

摘要

Ein Verbundsubstrat 10 ist ein Verbundsubstrat, bei dem ein piezoelektrisches Substrat 11, das für zur Fotolithographie verwendetem Licht transparent ist, und ein Stützsubstrat 12 zum Stützen des piezoelektrischen Substrates 11 über eine organische Haftmittelschicht 13 miteinander verbunden sind. Zumindest das Stützsubstrat 12 oder die organische Haftmittelschicht 13 des Verbundsubstrates 10 können das zur Fotolithographie verwendete Licht absorbieren.