| 发明名称 | 一种液相外延法制取薄膜的衬底夹具 | ||
| 摘要 | 一种液相外延法制取薄膜的衬底夹具，涉及一种液相外延设备，其包括：一位于上端的连接轴，可拆卸地或固定地与升降旋转轴连接；一位于中部的夹板单元，包括一上夹板及一下夹板；一熔料室，可拆卸地连接于位于所述的下夹板下方。本发明，夹具的上下夹板之间可装多个衬底硅片，可一次性生产多个外延硅片；夹具可随着升降旋转轴旋转，使衬底片周围各处溶液浓度均匀，消除了温场不均匀带来的生长差异，生长出来的液相外延片厚度均匀。 | ||
| 申请公布号 | CN101760776A | 申请公布日期 | 2010.06.30 |
| 申请号 | CN200910111528.5 | 申请日期 | 2009.04.17 |
| 申请人 | 南安市三晶阳光电力有限公司 | 发明人 | 郑智雄;南毅;张伟娜;王致绪;邹予;马殿军;赵志跃;汪健;戴文伟 |
| 分类号 | C30B19/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B19/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人 | 张松亭 |
| 主权项 | 一种液相外延法制取薄膜的衬底夹具，其特征在于，包括：一位于上端的连接轴，可拆卸地或固定地与升降旋转轴连接；一位于中部的夹板单元，包括一上夹板及一下夹板；一熔料室，可拆卸地连接于位于所述的下夹板下方。 | ||
| 地址 | 362000 中国福建省南安市霞美镇光电信息产业基地 | ||