数控扫描波形发生器

摘要

本发明公开了一种数控扫描波形发生器，该数控扫描波形发生器包括以下部分：DAC1(数模转换器)，DAC2，系统控制器，比较器，积分器，放大器，电阻，电容，扫描速度控制，位置脉冲，扫描波形组成。本发明与传统的离子注入机扫描波形发生器相比，其特点为扫描周期为固定常数，但在一个扫描周期内，实际进行扫描的时间可通过软件进行精确调节，即扫描的占空比可精确调节。另外，在不需要对束流进行扫描的调束阶段，它可对束流行使偏转的作用，节省了一个束偏转控制器。

主权项

一种数控扫描波形发生器包括：两个DAC(数模转换器)，一系统控制器，一比较器，一积分器，一放大器，一电阻，一电容，一扫描速度控制信号，一位置脉冲信号，一扫描波形，其特征在于：(1)扫描周期为固定常数；(2)在一个扫描周期内，扫描的占空比可精确调节；(3)集合了偏转和扫描的控制功能；(4)采用单片机进行微处理控制。