| 发明名称 | 一种制备类金刚石薄膜的装置 | ||
| 摘要 | 一种制备类金刚石薄膜的装置，具有由圆筒形外壳、封盖和底座构成的封闭式反应室，封盖上有进气孔，底座上设有真空泵孔和排气孔，外壳两个侧面上设置有观察窗口，其特征在于：在所述反应室内的上下空间位置分别装有由若干空心不锈钢针组成的阴极与平板筛网组成的阳极，在所述平板筛网下部固定有基片，所述不锈钢针与平板筛网之间的间距为10mm，所述平板筛网与基片之间间距为1mm；所述的阴极与阳极分别以导线与高压电源相连；本装置结构简单、操作方便、成膜速率高。 | ||
| 申请公布号 | CN201517131U | 申请公布日期 | 2010.06.30 |
| 申请号 | CN200920228148.5 | 申请日期 | 2009.09.16 |
| 申请人 | 湖北师范学院 | 发明人 | 江超;胡明钦;程来星 |
| 分类号 | C23C16/26(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 黄石市三益专利商标事务所 42109 | 代理人 | 瞿晖 |
| 主权项 | 一种制备类金刚石薄膜的装置，具有由圆筒形外壳、封盖和底座构成的封闭式反应室，封盖上有进气孔，底座上设有真空泵孔和排气孔，外壳两个侧面上设置有观察窗口，其特征在于：在所述反应室内的上下空间位置分别装有由若干空心不锈钢针组成的阴极与平板筛网组成的阳极，在所述平板筛网下部固定有基片，所述不锈钢针与平板筛网之间的间距为10mm，所述平板筛网与基片之间间距为1mm；所述的阴极与阳极分别以导线与高压电源相连。 | ||
| 地址 | 435000 湖北省黄石市磁湖路82号 | ||