加速度传感器

摘要

本发明实现一种灵敏度等特性相对于施加在传感器芯片上的干扰力难以变动的加速度传感器。加速度传感器具有经由支承框和挠性梁支承在支承框内的重锤、设置于梁的半导体压阻元件、将它们连接起来的配线，根据压阻元件的电阻变化来检测加速度。在梁的形成有压阻元件的部分以外的部分设有应力缓冲部。应力缓冲部关于梁的长度中心线和宽度中心线对称。即使干扰力沿梁整体延伸的方向施加于传感器元件，也可以由应力缓冲部来吸收干扰力。由于梁整体延伸的方向的应力难以变化，因此梁的易变形度也难以变化，能够降低干扰力的影响造成的灵敏度变化。

主权项

一种加速度传感器，其具有加速度传感器元件，该加速度传感器元件具有：支承框；重锤，其在从外部施加有加速度时，可相对于支承框进行动作；多个具有挠性的梁，其将重锤和支承框连接且支承重锤；半导体压阻元件，其在梁与重锤或支承框连接的连接点附近且设置于梁上；及配线，其连接于半导体压阻元件并设置于梁，该加速度传感器元件通过半导体压阻元件的电阻变化来检测从外部施加的加速度，所述多个梁中、设有检测梁的厚度方向的加速度的半导体压阻元件的梁分别具有至少一个应力缓冲部。