发明名称 FOCUSED ION BEAM DEEP NANO-PATTERNING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 IL201877(D0) 申请公布日期 2010.06.30
申请号 IL20090201877 申请日期 2009.11.01
申请人 TECHNION RESEARCH AND DEVELOPMENT FOUNDATION LTD. 发明人
分类号 B82B 主分类号 B82B
代理机构 代理人
主权项
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