基板清洁单元和具有该清洁单元的基板处理装置

摘要

在包括清洁基板的清洁单元的装置中，清洁单元包括以第一方向传送基板的传送部和靠近基板并在与第一方向基本垂直的第二方向延伸的清洁块。该清洁块包括将清洁剂输送到基板上的第一块和位于第一块侧部并吸走基板上的清洁剂的第二块。第一块和第二块以这样的方式排列，所述清洁剂以与第一方向相反的方向在基板上流动，使得在第一方向上，第二块处在第一块的前面。

主权项

一种用于清洁基板的清洁单元，包括：用于在第一方向传送所述基板的传送部；和靠近所述基板并以与所述第一方向基本垂直的第二方向延伸的清洁块，所述清洁块包括用于将清洁剂输送到所述基板上的第一块和位于所述第一块的侧部并吸走所述基板上的上述清洁剂的第二块。