气体分布喷洒模块

摘要

一种气体喷洒模块，用于设有进气管道的气相沉积腔，包含：至少一气体分布块，该气体分布块是沿第一轴向设有至少一扩散室，且该气体分布块设有分别连接进气管道与扩散室的多个进气孔；以及一气体喷洒块，该气体喷洒块之中沿第二轴向设有至少一喷洒管道，且该气体喷洒块设有用于连接扩散室与喷洒管道的气体流入通道，以及用于连接喷洒管道与气相沉积腔的气体流出通道；其中，该气体分布块与气体喷洒块彼此结合，使得扩散室由气体流入通道与喷洒管道相连通，且该第一轴向与第二轴向彼此间不平行。

主权项

一种气体喷洒模块，用于设有进气管道的气相沉积腔，其特征在于，包含：至少一气体分布块，该气体分布块沿第一轴向设有至少一扩散室，且该气体分布块设有分别连接进气管道与扩散室的一进气孔；以及一气体喷洒块，置于气体分布块下方，该气体喷洒块之中沿第二轴向设有至少一喷洒管道，且该气体喷洒块并设有用于连接扩散室与喷洒管道的气体流入通道，以及用于连接喷洒管道与气相沉积腔的气体流出通道；其中，该气体分布块与气体喷洒块彼此结合，使得扩散室由气体流入通道与喷洒管道相连通，且该第一轴向与第二轴向彼此间不平行。