并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置

摘要

并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置，它涉及一种高精度大口径光栅拼接装置。本发明可以解决国内无高精度大口径光栅拼接装置的问题。二维运动平台部件(7)固定在基座(6)上，动光栅部件(1)的下端与二维运动平台部件(7)的上端球铰接，定光栅部件(4)固装在基座(6)上，第一X轴直线驱动器(2)、第三X轴直线驱动器(9)、第二X轴直线驱动器(8)由上至下沿X轴方向依次设置在基座(6)上，第一Y轴直线驱动器(3)、第二Y轴直线驱动器(5)由上至下沿Y轴方向依次设置在基座(6)上，每个直线驱动器分别与基座(6)和动光栅部件(1)固接。本发明具有结构紧凑、调整方便、操作灵活、拼接精度高等优点，可以实现大面积的动光栅与静光栅在空间五个自由度方向上的高精度拼接。

主权项

一种并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置，它由动光栅部件(1)、定光栅部件(4)、五个直线驱动器、二维运动平台部件(7)、基座(6)组成；所述二维运动平台部件(7)固定在基座(6)上，所述动光栅部件(1)的下端与二维运动平台部件(7)的上端球铰接，所述定光栅部件(4)固装在基座(6)上，所述五个直线驱动器分别是第一X轴直线驱动器(2)、第二X轴直线驱动器(8)、第三X轴直线驱动器(9)、第一Y轴直线驱动器(3)、第二Y轴直线驱动器(5)，所述第一X轴直线驱动器(2)、第三X轴直线驱动器(9)、第二X轴直线驱动器(8)由上至下沿X轴方向依次设置在基座(6)上，所述第一Y轴直线驱动器(3)、第二Y轴直线驱动器(5)由上至下沿Y轴方向依次设置在基座(6)上，所述每个直线驱动器分别与基座(6)和动光栅部件(1)固接，其特征在于所述每个直线驱动器由柔性连接轴(10)、微动柔性铰链部件(11)、丝母座(12)、宏动丝杠(13)、宏动步进电机(14)、柔性连轴器(15)、轴承座部件(16)、丝母(17)、宏动锁紧件(18)、宏动静直线导轨(19)、宏动动直线导轨(20)、驱动器基座(21)、锁定垫块(22)组成；所述柔性连接轴(10)的两端分别与微动柔性铰链部件(11)和丝母座(12)相连接，所述宏动丝杠(13)的输入端穿过丝母座(12)和丝母(17)的内螺纹孔及轴承座部件(16)的轴孔与柔性连轴器(15)的输出端传动连接，柔性连轴器(15)的输入端与宏动步进电机(14)的输出轴传动连接，丝母座(12)靠近轴承座部件(16)一侧的外端面与丝母(17)固接，丝母座(12)和宏动动直线导轨(20)均与宏动锁紧件(18)固接，宏动静直线导轨(19)沿纵向固定在驱动器基座(21)上，宏动动直线导轨(20)装在宏动静直线导轨(19)上且与其滑动配合，宏动锁紧件(18)装在锁定垫块(22)上，宏动锁紧件(18)与锁定垫块(22)之间留有间隙，锁定垫块(22)和轴承座部件(16)均固装在驱动器基座(21)上，驱动器基座(21)与基座(6)固接，微动柔性铰链部件(11)与动光栅部件(1)固接。