制造悬臂式探针之方法及制造应用其之探针卡之方法

摘要

一种制造悬臂式探针之方法，根据此方法，在形成每一于基板之尖端部分区域及暂置尖端部分区域中的凹槽后，藉由填充尖端部分区域及暂置尖端部分区域之凹槽，来形成尖端部分及暂置尖端部分。然后，形成一牺牲层以覆盖包括暂置尖端部分之暂置尖端部分区域。以与尖端部分连接的方式形成一横梁部分，其沿包括牺牲层之所述暂置尖端部分向上延伸。所述方法包括以下步骤：选择性地蚀刻尖端部分之基板，再使尖端部分自基板浮起。因此，在制造探针卡时将对所述尖端部分之物理以及化学损坏降至最低，且因为所述尖端部分之缺陷较小而向其提供稳定性。

主权项

一种制造悬臂式探针之方法，其包括：在一基板之一预定区域中形成一沟槽；在所述基板上形成一模具层图案，所述模具层图案具有一开口，以露出所述基板之包括所述沟槽的所述表面；形成位于所述沟槽中之一尖端部分以及位于所述开口中之一横梁部分；移除所述模具层图案；以及蚀刻所述尖端部分周围之所述基板，并使所述尖端部分自所述基板浮起。