显影装置

摘要

一种显影装置，含有一转动机构，一遮蔽机构与一乾燥机构。转动机构乃用于旋转一基板，以移除基板上之显影液。遮蔽机构则具有一腔室，以容纳转动机构。乾燥机构乃位于腔室外，以高架固定方式，固定于一设备框架上，并提供一乾燥气体以乾燥基板。

主权项

一种显影装置，该显影装置至少包含：一转动机构，系用以旋转一基板，以移除施加于该基板上之显影液；一遮蔽机构，系具有一腔室，以容纳该基板和该转动机构；及一乾燥机构，系位于该腔室外，并提供一乾燥气体以乾燥该基板，该乾燥机构于显影液施加于该基板上时，亦位于该腔室外，其中该乾燥机构更提供一除静电气以移除该基板上之静电。