单酸微量添加装置及方法

摘要

一种单酸微量添加装置，其包括一蚀刻单元与一监测添加单元，该蚀刻单元包括一蚀刻室与一混酸槽；该监测添加单元包括一单酸测酸仪器、一单酸补充演算器及一单酸添加槽；该单酸测酸仪器与该混酸槽相连，该单酸补充演算器与该单酸测酸仪器及单酸添加槽相连，单酸添加槽又与混酸槽相连；该混酸槽、单酸测酸仪器、单酸补充演算器及单酸添加槽首尾相连并构成单酸微量添加闭合控制回路。

主权项

一种单酸微量添加装置，包括一蚀刻单元与一监测添加单元，该蚀刻单元包括一蚀刻室与一混酸槽；该监测添加单元包括一单酸测酸仪器、一单酸补充演算器及一单酸添加槽；该单酸测酸仪器与该混酸槽相连，该单酸补充演算器与该单酸测酸仪器及单酸添加槽相连，单酸添加槽又与混酸槽相连；该混酸槽、单酸测酸仪器、单酸补充演算器及单酸添加槽首尾相连并构成单酸微量添加闭合控制回路，该单酸测酸仪器监测混酸槽中单酸之浓度变化的同时亦测量蚀刻反应生成物的浓度变化，从而输出相应的单酸浓度讯号至该单酸补充演算器，该单酸补充演算器依据该单酸浓度讯号控制该单酸添加槽向该混酸槽添加单酸之剂量。