主权项 |
一种瑕疵检测装置,至少包含:一基座;一进出料机构,设置于该基座上,用以移动一待测元件;一第一照明元件,用以朝该待测元件发射一第一光线;一第一摆动架,该第一照明元件设置于该第一摆动架之一侧,该第一摆动架之另一侧枢接于该基座;一第一驱动机构,用以带动该第一摆动架相对于该基座摆动,以改变该第一照明元件发射该第一光线之一发光角度;一撷取元件,与该第一照明元件位于该待测元件之同侧,用以接收由该待测元件反射后之该第一光线,以撷取该待测元件之一影像,藉以检测该待测元件之表面瑕疵;一第二摆动架,该撷取元件设置于该第二摆动架之一侧,该第二摆动架之另一侧枢接于该基座;以及一第二驱动机构,用以带动该第二摆动架相对于该基座摆动,以改变该撷取元件撷取该影像之一撷取角度,其中该第一摆动架及该第二摆动架之摆动轴心相重合。 |