发明名称 Siliziumeinkristall-integrierte Schaltkreise auf polykristallinem Silizium
摘要
申请公布号 DE69942327(D1) 申请公布日期 2010.06.17
申请号 DE19996042327 申请日期 1999.05.26
申请人 LUCENT TECHNOLOGIES INC. 发明人 CELLER, GEORGE K.;CHABAL, YVES JEAN
分类号 H01L21/20;H01L27/12;H01L21/02;H01L21/762;H01L21/763;H01L27/06;H01L27/102;H01L27/13;H03B5/12 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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