真空同步传送系统

摘要

本实用新型公开了一种真空同步传送系统，包括真空腔室、腔室外的驱动机构和外传动机构、容置在腔室侧壁密封孔中的密封传动机构以及布设在腔室内两侧的内传动机构，所述驱动机构同步驱动外传动机构，所述密封传动机构一端与外传动机构相连，另一端与内传动机构相连，所述内传动机构包括传动轴和传送轮，所述传动轴一端与密封传动机构相连，另一端与传送轮相连，通过传送轮来传送基片等薄板材料，使真空腔室内的传动部件达到最少，解决了传动机构本身引入真空系统污染的问题，大大提高了清洁度。本实用新型真空同步传送系统高清洁度、无污染、结构简单紧凑，能够平稳、快速有效地实现基片的同步传送，最大限度的确保真空系统的可靠性。

主权项

一种真空同步传送系统，包括驱动机构、传动机构、形成真空环境的密闭腔室，所述腔室内设有固定座，其特征在于：所述传动机构包括外传动机构、多组密封传动机构以及多组内传动机构，多组所述内传动机构与所述腔室底部平行并对称分布在所述腔室内两侧，所述驱动机构与所述外传动机构设置在所述腔室外，所述腔室两侧壁对应所述多组内传动机构开设有密封孔，所述密封传动机构安装在所述密封孔中，所述外传动机构与所述密封传动机构的一端相连，所述内传动机构与所述密封传动机构的另一端相连，所述内传动机构包括传动轴和承载基片的传送轮，所述传动轴枢接地穿过所述固定座，所述传送轮固定在所述传动轴的一端，所述传动轴的另一端连接所述密封传动机构，所述腔室内两侧的所述传送轮之间形成基片承载区，所述驱动机构同步驱动所述外传动机构，所述外传动机构通过所述密封传动机构传送动力给所述传动轴，所述传动轴带动所述传送轮转动。