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经营范围
发明名称
Device for plasma generation
摘要
申请公布号
EP0961528(B1)
申请公布日期
2010.06.16
申请号
EP19990105215
申请日期
1999.03.13
申请人
OERLIKON DEUTSCHLAND HOLDING GMBH
发明人
LIEHR, MICHAEL, DR.
分类号
H05H1/46;H01J37/32
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
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