发明名称 面积减小的双实心金属垫
摘要 本发明面积减小的双实心金属垫,本发明公开了一种集成电路结构,包括:焊垫;直接位于该焊垫之下的Mtop垫;至少有一部分直接位于该Mtop垫之下的Mtop-1垫,其中,该Mtop垫和该Mtop-1垫中至少一个的水平尺寸小于该焊垫的水平尺寸;互连该Mtop垫和该Mtop-1垫的多个通孔;以及该焊垫上的焊球。每个该Mtop垫和该Mtop-1垫在所有水平方向上都有对于该焊球的正外围。
申请公布号 CN101740532A 申请公布日期 2010.06.16
申请号 CN200910119325.0 申请日期 2009.03.24
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 陈宪伟;刘豫文;蔡豪益;郑心圃;陈英儒
分类号 H01L23/485(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I 主分类号 H01L23/485(2006.01)I
代理机构 北京市德恒律师事务所 11306 代理人 马佑平
主权项 集成电路结构,包括:焊垫;直接位于该焊垫之下的Mtop垫;至少有一部分直接位于该Mtop垫之下的Mtop-1垫,其中,该Mtop垫和该Mtop-1垫中至少一个的水平尺寸小于该焊垫的水平尺寸;互连该Mtop垫和该Mtop-1垫的多个通孔;以及该焊垫上的焊球,其中每个该Mtop垫和该Mtop-1垫在所有水平方向上都有对于该焊球的正外围。
地址 中国台湾新竹