| 发明名称 | 基板位置检测装置、基板位置检测方法、成膜装置、成膜方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板位置检测装置、基板位置检测方法、成膜装置、成膜方法。公开的基板位置检测装置包括：对作为位置检测对象的基板(W)进行拍摄的摄像部；被配置在摄像部和基板之间，具有确保摄像部相对于基板的视场的第1开口部的光散射性的板构件；将光照射到板构件上的第1照明部；以及从由摄像部拍摄的基板的图像求出基板的位置的处理部。 | ||
| 申请公布号 | CN101740447A | 申请公布日期 | 2010.06.16 |
| 申请号 | CN200910223514.2 | 申请日期 | 2009.11.19 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 相川胜芳;本间学 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所 11277 | 代理人 | 刘新宇;张会华 |
| 主权项 | 一种基板位置检测装置，其特征在于，包括：摄像部，用于对作为位置检测对象的基板进行拍摄；板构件，其具有光散射性，被配置在上述摄像部和上述基板之间，具有用于确保上述摄像部相对于上述基板的视场的第1开口部；第1照明部，用于将光照射到上述板构件上；以及处理部，其用于从利用上述摄像部透过上述第1开口部所拍摄的图像中求出上述基板的位置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||