| 发明名称 |
A METHOD OF FABRICATING SCREEN LENS ARRAY PLATES. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0073189(A4) |
申请公布日期 |
1983.07.08 |
| 申请号 |
EP19810901449 |
申请日期 |
1981.04.30 |
| 申请人 |
VEECO INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
WESTERBERG, EUGENE R.;CONE, DONALD R. |
| 分类号 |
H01J9/02;H01J37/317;H01L21/306;(IPC1-7):H01J29/46 |
主分类号 |
H01J9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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