芯片分离器

摘要

一种芯片分离器(1)，包括：腔室(2)，该腔室能经受真空并且包括具有孔(6)的盖板(3)；多个板(8)，所述多个板布置在腔室(2)的内部，且突出到第一孔(6)中，并且可沿相对于盖板(3)的表面(9)垂直延伸或以倾斜方式延伸的方向共同移位以及单独移位；及用于使板(8)移位的驱动装置。该驱动装置包括驱动机构(12)，该驱动机构包括马达(14)和销(13)，该销(13)能沿预定路径(17)移动，并且可通过马达(14)在两个位置之间来回移动。板(8)中每一个包括路径状开口(16)。销(13)通过板(8)中每一个的路径状开口(16)被引导。从一个板(8)到另一个板(8)路径状开口(16)是不同的，使得当销(13)沿所述路径(17)移动时，板(8)以预定顺序在所述方向上移位。

主权项

一种芯片分离器(1)，包括：腔室(2)，所述腔室(2)具有盖板(3)，所述腔室(2)能经受真空，所述盖板包括具有孔(6)的表面，多个板(8)，所述多个板(8)布置在所述腔室(2)的内部，且突出到第一孔(6)中，并且能沿相对于所述盖板(3)的表面(9)垂直延伸或以倾斜方式延伸的方向移位，以及用于使所述板(8)移位的驱动装置，所述驱动装置包括驱动机构(12)，所述驱动机构(12)包括马达(14)和销(13)，所述销(13)能通过所述马达(14)沿预定路径(17)在两个位置之间来回移动，所述板(8)中每一个板具有路径状开口(16)，而所述销(13)通过所述板(8)中每一个板的所述路径状开口(16)被引导，其中从一个板(8)到另一个板(8)所述路径状开口(16)是不同的，使得当所述销(13)沿所述路径(17)移动时，所述板(8)以预定顺序在所述方向上移位。