感应型位移检测器

摘要

本发明提供一种能获得改善分辨率和高精度的感应型位移检测器。感应型位移检测器包括标尺，以及可以沿测量轴移动的传感器头。多个磁通耦合绕组沿着测量轴设置在标尺上。接收绕组设置在传感器头上，其包括沿着测量轴设置的接收回路。

主权项

一种感应型位移检测器，包括：一标尺；一与所述标尺相对设置、并沿测量轴方向相对标尺移动的传感器头；一设置在所述传感器头上的发射元件；一沿所述测量轴设置在所述传感器头上的、具有多个接收回路的接收绕组；以及能磁通耦合至所述发射元件和接收绕组并且其沿所述测量轴设置在所述标尺上的多个磁通耦合元件，其中相邻接收回路配置成沿所述测量轴具有λ长度的一对回路，其中每个接收回路沿所述测量轴具有λ/2的长度，以及所述磁通耦合元件具有λ/N的间隔，其中N为3或3以上的奇数。