发明名称 |
用于785纳米波段熔融石英透射1×3偏振无关分束光栅 |
摘要 |
一种用于785纳米波段的熔融石英透射1×3偏振无关分束光栅,是一种矩形高密度深刻蚀光栅,该光栅的周期为1064-1072纳米、刻蚀深度为2.580-2.602微米,光栅的占空比为0.5。本发明可以使TE偏振光0级衍射和±1级衍射的效率分别为32.47%和32.51%,TM偏振光0级衍射和±1级衍射的效率分别为32.95%和32.97%,总衍射效率均高于97%,对TE和TM偏振光可以同时实现近乎理想的高效率1×3分束。 |
申请公布号 |
CN101339264B |
申请公布日期 |
2010.06.16 |
申请号 |
CN200810041642.0 |
申请日期 |
2008.08.13 |
申请人 |
中国科学院上海光学精密机械研究所 |
发明人 |
周常河;冯吉军 |
分类号 |
G02B5/18(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I |
主分类号 |
G02B5/18(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
张泽纯 |
主权项 |
一种用于785纳米波段的熔融石英透射1×3偏振无关分束光栅,是一种矩形高密度深刻蚀光栅,光栅的占空比为0.5,其特征在于该光栅的周期的取值范围为1064-1072纳米、刻蚀深度范围为2.580-2.602微米。 |
地址 |
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