用于刻蚀基板的装置和使用其制造液晶显示器的生产线

摘要

本发明公开了一种基板刻蚀装置，其包括：盒，用于容纳已经完成先前工艺的基板并传输该基板；第一机械手，用于从所述盒中取出所述基板；第二机械手，用于从所述第一机械手接收所述基板并将安装于其上的基板上下移动；刻蚀盒，包括用于支撑所述基板的支架和用于固定该基板的固定器，并固定从所述第二机械手装载的所述基板；盒固定单元，用于固定至少一个或多个刻蚀盒并以预定角度转到以允许所述基板垂直于地面设置；以及刻蚀装置单元，用于刻蚀通过所述盒固定单元垂直于地面设置的所述基板。

主权项

一种刻蚀装置，包括：机械手，其允许第一基板安装于其上并上下移动；刻蚀盒，用于固定通过所述机械手装载的基板；盒固定单元，用于固定至少一个刻蚀盒并以预设角度转动以允许基板垂直于地面设置；以及刻蚀单元，用于刻蚀通过所述盒固定单元垂直于地面设置的基板，其中所述刻蚀单元包括：垂直于地面设置的多个喷射板，其至少一侧与所述基板相邻，并具有填充于其中的刻蚀剂，以及多个喷嘴，形成于所述喷射板上并喷射所述刻蚀剂。