承载及位置转换装置及具有该装置的半导体在线检测系统

摘要

本实用新型公开了一种承载及位置转换装置，包括安装座、工作台、传动机构及驱动机构，所述传动机构包括传动轴、传动带、驱动轮及固定有多个传动轮的安装板，所述传动轴一端与工作台固定连接，另一端固定地穿过安装板并与安装座枢接，多个传动轮以传动轴为中心对称分布，驱动轮与传动轮位于同一平面，工作台的旋转半径大于驱动轮的旋转半径。所述承载及位置转换装置装配简单，维修更换方便，驱动轮通过边角固定有传动轮的安装板来带动工作台转动，实现在与工作台具有相同线速度的同时使工作台具有相对驱动轮很小的角速度，使工作台能够平稳、精确、小角度的运转，精准的实现位置转换。本实用新型也公开了一种具有该装置的半导体在线检测系统。

主权项

一种承载及位置转换装置，包括安装座、工作台、传动机构以及驱动机构，所述驱动机构驱动所述传动机构，所述传动机构带动所述工作台在所述安装座上转动，其特征在于：所述传动机构包括传动轴、传动带、驱动轮、以及固定有多个传动轮的安装板，所述传动轴的一端与所述工作台固定连接，所述传动轴的另一端固定地穿过所述安装板并与所述安装座枢接，所述驱动轮安装在所述驱动机构上，多个所述传动轮以所述传动轴为中心对称的分布，所述驱动轮与所述传动轮位于同一平面上，所述传动带绕设于所述传动轮与所述驱动轮上并形成一闭合回路，所述工作台的旋转半径大于所述驱动轮的旋转半径，所述驱动机构驱动所述传动带转动，所述传动带同步的带动所述工作台旋转。