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发明名称
摘要
申请公布号
JP4480914(B2)
申请公布日期
2010.06.16
申请号
JP20010095933
申请日期
2001.03.29
申请人
发明人
分类号
B01J19/00;H01L21/31;C23C16/458;H01L21/22
主分类号
B01J19/00
代理机构
代理人
主权项
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