一种电子轰击式离子源放电室

摘要

一种电子轰击式离子源放电室，设有环绕放电室的磁体(2)，放电室纵向后端设有阴极(14)，磁体后部设有延伸到阴极侧部的后极靴(1)，中部设有向纵向中心轴线方向延伸的中极靴(3)，前部设有向纵向中心轴线方向延伸的前极靴(5)，放电室里设有杯体形阳极(9)，其环形侧壁位于中极靴、前极靴极尖内侧，底面位于后侧，阴极(14)前端穿过杯体形阳极底面设置的中心孔(9a)，伸进阳极的杯形放电空腔，杯体形阳极的环形底内设有带冷却液入口和出口的冷却液腔(13)。本装置可降低离子源放电室内的温度，保证磁场性能的稳定和磁场分布的均匀，同时杯体形阳极为一体化结构，便于装卸、清洗、维修。

主权项

一种电子轰击式离子源放电室，设有环绕放电室的磁体(2)、放电室纵向后端设有阴极(14)，磁体(2)后部设有延伸到阴极侧部的后极靴(1)，中部设有向纵向中心轴线方向延伸的中极靴(3)，前部设有向纵向中心轴线方向延伸的前极靴(5)，其特征在于：放电室里设有杯体形阳极(9)，其环形侧壁位于中极靴、前极靴极尖内侧，底面位于后侧，阴极(14)前端穿过杯体形阳极底面设置的中心孔(9a)，伸进阳极的杯形放电空腔，杯体形阳极的环形底内设有带冷却液入口和出口的冷却液腔(13)。