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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM GLEICHMÄSSIGEN BESCHICHTEN VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE502007003586(D1) 申请公布日期 2010.06.10
申请号 DE20075003586T 申请日期 2007.02.13
申请人 STANGL SEMICONDUCTOR EQUIPMENT AG;WUERTH SOLAR GMBH & CO. KG 发明人 STANGL, WOLFGANG;STANGL, HANS-JUERGEN
分类号 B05B15/12;B05C5/00;B05C9/06;B05C11/08;B05C15/00;H01L21/00 主分类号 B05B15/12
代理机构 代理人
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