摘要 |
Die vorliegende Erfindung beschreibt einen mikromechanischen Drucksensor mit einer ersten und einer zweiten Membran, die in einem gemeinsamen Halbleitersubstrat untergebracht sind sowie ein Selbsttestverfahren, mit dem die Funktionsfähigkeit des Drucksensors überprüft werden kann. Die beiden Membranen dienen dabei zur unabhängigen Druckerfassung eines oder mehrerer Medien in dem jeweils eine Druckgröße über die Verbiegung der jeweiligen Membran erfasst wird. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass eine Kappe über der ersten Membran einen Hohlraum definiert, der mit dem Hohlraum unter der zweiten Membran in Verbindung steht.
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