发明名称 Aufbau eines Drucksensors
摘要 Die vorliegende Erfindung beschreibt einen mikromechanischen Drucksensor mit einer ersten und einer zweiten Membran, die in einem gemeinsamen Halbleitersubstrat untergebracht sind sowie ein Selbsttestverfahren, mit dem die Funktionsfähigkeit des Drucksensors überprüft werden kann. Die beiden Membranen dienen dabei zur unabhängigen Druckerfassung eines oder mehrerer Medien in dem jeweils eine Druckgröße über die Verbiegung der jeweiligen Membran erfasst wird. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass eine Kappe über der ersten Membran einen Hohlraum definiert, der mit dem Hohlraum unter der zweiten Membran in Verbindung steht.
申请公布号 DE102008054428(A1) 申请公布日期 2010.06.10
申请号 DE20081054428 申请日期 2008.12.09
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 MITSCHKE, MICHAELA;BENZEL, HUBERT
分类号 G01L9/06;G01L9/00 主分类号 G01L9/06
代理机构 代理人
主权项
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