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发明名称
摘要
申请公布号 JP4478376(B2) 申请公布日期 2010.06.09
申请号 JP20020246706 申请日期 2002.08.27
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;G03G5/08;H01L21/205;H01L21/285 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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