向晶体形成装置装载熔融源材料的熔化器组件和方法

摘要

一种向用于形成晶体的晶体形成装置提供熔融源材料的装料的熔化器组件。该熔化器组件包括壳体和位于该壳体内的坩埚。一加热器相对于该坩埚设置以熔化接纳在坩埚内的固态源材料。坩埚具有喷嘴以控制熔融源材料的流动，以便可以选定的流量向晶体形成装置提供熔融源材料的定向流。还提供了一种向晶体形成装置装填熔融源材料的方法，以及一种利用单个熔化器组件服务于多个晶体形成装置的方法。

主权项

一种向晶体形成装置装填熔融源材料的方法，该方法包括以下步骤：在该晶体形成装置上方安置熔化器组件，以便向该装置的坩埚输送熔融硅；操作该熔化器组件内的上部加热线圈以使该熔化器组件的熔化坩埚内的源材料熔化；操作该熔化器组件内的下部加热线圈以使熔融源材料流过该熔化器组件的孔口，以便向该晶体形成装置的坩埚输送熔融源材料的流。