| 发明名称 | 光致抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供光致抗蚀剂组合物，该光致抗蚀剂组合物的电路线宽均匀性、分辨率、显影对比度、粘合性优异，特别是感光速度、残膜率和耐热性优异。本发明涉及使用在液晶显示装置电路、半导体集成电路等的精细电路制造中的光致抗蚀剂组合物，更具体地说，本发明涉及含有如下物质的光致抗蚀剂组合物：a)碱溶性树脂；b)光敏性化合物；c)胶体状无机物；和d)有机溶剂。 | ||
| 申请公布号 | CN101727000A | 申请公布日期 | 2010.06.09 |
| 申请号 | CN200910208089.X | 申请日期 | 2009.10.27 |
| 申请人 | 株式会社东进世美肯 | 发明人 | 金柄郁;俞载元;郭恩珍;金云龙 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/075(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 丁香兰;张志楠 |
| 主权项 | 一种光致抗蚀剂组合物，该光致抗蚀剂组合物含有：a)碱溶性树脂；b)光敏性化合物；c)胶体状无机物；和d)有机溶剂。 | ||
| 地址 | 韩国仁川广域市 | ||