激光谐振腔的辅助装调设备、调腔系统及其调腔方法

摘要

本发明公开了一种激光谐振腔的辅助装调设备及调腔系统，该辅助装调设备包括CCD摄像机、图像采集处理系统和数据显示设备，图像采集处理系统包括采集单元和图像处理单元，CCD摄像机、采集单元、图像处理单元和数据显示设备通过数据线依次连接。本发明的调腔系统包括输出导引光的激光器、激光谐振腔和该辅助装调设备，激光器、激光谐振腔和辅助装调设备的CCD摄像机之间依次通过光路形成配合。调腔时激光器发出的导引光经衰减片衰减后进入激光谐振腔，多次往返后输出的光束经缩束后入射到CCD摄像机的光敏面上形成干涉条纹图像信息，该图像信息由图像采集处理系统进行采集和处理后得到对称度数据，最后根据获取的对称度数据对激光谐振腔中的腔镜进行调节。

主权项

一种激光谐振腔的辅助装调设备，其特征在于：所述辅助装调设备包括CCD摄像机(7)、图像采集处理系统(8)和数据显示设备(9)，所述图像采集处理系统(8)包括采集图像信息的采集单元(81)和对采集后的图像信息进行干涉条纹图像数字处理的图像处理单元(82)，所述CCD摄像机(7)、采集单元(81)、图像处理单元(82)和数据显示设备(9)通过数据线依次连接。