一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机

摘要

一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机，其蒸发源包括安装于真空镀膜室一侧壁上的同步实施蒸镀铝膜步骤的第一铝坩埚和蒸镀铝加强层步骤所使用的第二铝坩埚。本发明能够在蒸镀上铝膜后，马上在蒸镀好铝膜的表面蒸镀上铝加强层，两个蒸发步骤同时进行，实现了铝金属化电容器留边加厚，最大优点是形成以层天然氧化层，抗潮湿能力强，储存周期长，自愈性能好，自愈后金属化膜能生成Al2O3，不影响电容器参数。同时本发明提高了整个镀膜的质量，同时也提高了蒸镀效率，解决了国内外现有真空蒸镀机无法制备铝加厚金属化电容器用薄膜的问题。同时本发明的全铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机还能用来生产纯铝的金属化电容器用的薄膜。

主权项

一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机，包括卷绕系统、真空镀膜室、冷冻系统，扩散泵、阀门、罗茨泵、滑阀泵组成的第一抽真空系统和冷阱式的第二真空系统以及蒸发源，其特征在于，其特征在于，所述蒸发源包括安装于真空镀膜室一侧壁上的同步实施蒸镀铝膜步骤的第一铝坩埚和蒸镀铝加强层步骤所使用的第二铝坩埚，所述第一铝坩埚与主辊之间的连线和第二铝坩埚与主辊之间的连线之间的夹角为40-50度。