发明名称 具有电镀轮的电镀系统
摘要 本发明提供一种用于电镀工件(30)的电镀系统(10)。该电镀系统(10)包含具有面(66)和从面(66)延伸的柱状壁(70)的镀轮(14)。柱状壁(70)包含沿镀轮(14)的圆周延伸的外部面(72)。镀轮(14)具有至少部分界定了用于盛装电镀溶液(91)的溶液腔(93)的内腔(90)。柱状壁(70)包含延伸穿过柱状壁(70)与内腔(90)流体连接的多个开口(88)。多个肋条(82)从柱状壁(70)的外部面(72)向外延伸。多个肋条(82)沿镀轮(14)的圆周相互隔开。多个肋条(82)设置为与工件(30)接触,以在工件(30)和柱状壁(70)的外部面(72)之间形成气隙(G)。
申请公布号 CN101717986A 申请公布日期 2010.06.02
申请号 CN200910253012.4 申请日期 2009.10.09
申请人 泰科电子公司 发明人 马克·W·内夫;戴维·J·德米兰达
分类号 C25D17/00(2006.01)I 主分类号 C25D17/00(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 葛飞
主权项 一种用于电镀工件(30)的电镀系统(10),所述电镀系统(10)包含:具有面(66)和从该面(66)延伸的柱状壁(70)的镀轮(14),该柱状壁(70)包含沿该镀轮(14)的圆周延伸的外部面(72),该镀轮(14)具有至少部分界定了用于盛装电镀溶液(91)的溶液腔(93)的内腔(90),该柱状壁(70)包含延伸穿过该柱状壁(70)与该内腔(90)流体连接的多个开口(88);以及从该柱状壁(70)的该外部面(72)向外延伸的多个肋条(82),该多个肋条(82)沿该镀轮(14)的圆周相互隔开,该多个肋条(82)设置为与工件(30)接合以在该工件(30)和该柱状壁(70)的该外部面(72)之间形成气隙(G)。
地址 美国宾夕法尼亚州
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