薄板厚度测量装置及测量方法

摘要

本发明涉及一种应用于大尺寸薄板厚度测量的测量装置及测量方法，该装置包括角座、测厚平台、测量器，所述的测厚平台上设置有定位装置，所述的定位装置包括设置在所述的测厚平台上的固定座、设置在所述的固定座下方并与所述的固定座固定连接的紧定座，所述的固定座上开设有贯穿所述的固定座的厚度的定位孔，所述的定位孔内设置有支撑机构，所述的支撑机构包括三个伸出所述的定位孔的上开口部的球形支撑面，三个所述的球形支撑面的顶点构成一支撑平面；所述的紧定座上还设置有用于将所述的定位孔抽真空的中心真空管路，所述的中心真空管路与真空泵连通。本发明采用三点定位支撑的定位方式，容易保障薄板的定位精度，重复测量精度好。

主权项

一种薄板厚度测量装置，包括角座(64)、设置在所述的角座(64)上的测厚平台(61)、设置在所述的测厚平台(61)上的垫块(62)、设置在所述的垫块(62)上的横梁(63)，所述的横梁(63)上设置有测量器(7)，所述的测厚平台(61)上设置有定位装置(5)，其特征在于：所述的定位装置(5)包括设置在所述的测厚平台(61)上的固定座(2)、设置在所述的固定座(2)下方并与所述的固定座(2)固定连接的紧定座(1)，所述的固定座(2)上开设有贯穿所述的固定座(2)的厚度的定位孔(21)，所述的定位孔(21)内设置有支撑机构，所述的支撑机构包括三个伸出所述的定位孔(21)的上开口部的球形支撑面，三个所述的球形支撑面的顶点等高、不共线，构成一支撑平面；所述的紧定座(1)上还设置有用于将所述的定位孔(21)抽真空的中心真空管路(11)，所述的中心真空管路(11)与真空泵连通。