气体激光装置的启动方法以及气体激光装置

摘要

本发明提供一种即使在低温环境下启动激光振荡器时，也不需要特别的部件或复杂的系统，可以容易并且价廉地抑制高频电源的输出电流来启动激光振荡器的启动方法、以及具有这样的启动功能的气体激光装置。根据通常的气压控制，激光气体的气压从启动前的气压p1逐渐上升到p2，但在时刻t3 DC电流达到规定的阈值时，为了在时刻t3之后DC电流不超过阈值，进行激光气体气压的反馈控制。此时，对激光气体的气压进行控制，使其上升斜度变得平缓，并逐渐上升到与p2相比低一些的p2′。

主权项

一种启动方法，其用于使激光气体在激光放电管(20)中循环，通过高频放电来产生激光的放电激励式气体激光装置(1)，该启动方法的特征在于，包括以下步骤：将所述气体激光装置(1)正常启动时的所述气体激光装置(1)的激光电源(3)的DC电源部(5)的输出电流特性作为正常电流特性，来预先存储；检测所述气体激光装置(1)启动时的所述激光电源(3)的DC电源部(5)的输出电流；以及控制所述激光放电管(20)内的激光气体的气压，使所述DC电源部(5)的被检测出的输出电流不超过根据所述正常电流特性规定的阈值。