一种含可酸分解保护基的重氮萘醌磺酸酯感光剂及其合成方法

摘要

本发明涉及一种新型的重氮萘醌磺酸酯感光剂及其合成方法，此重氮萘醌磺酸酯感光剂含可酸分解保护基，在光产酸剂的存在下，曝光时即发生传统的重氮萘醌磺酸酯的光解，还发生光产酸剂光照产酸并导致保护基发生酸解，因此也是一种化学增幅型的感光剂。可与酚醛树脂等组成近紫外区的新型感光成像材料，兼具重氮萘醌磺酸酯感光剂体系反差大、显影宽容度好以及化学增幅体系感度高等优点，可用作超大规模集成电路用光刻胶及印刷用高感度PS版和计算机直接制版(CTP)的成像材料。其原料易得，合成方法也比较简便。

主权项

1.一种如下通式(I)所示的羧基被保护的N-羟基马来海松酸酰亚胺重氮萘醌磺酸酯：其中基团R₁为2，1，4-重氮萘醌磺酰基、2，1，5-重氮萘醌磺酰基或2，1，6-重氮萘醌磺酰基，基团R₂为如下的四氢吡喃基或四氢呋喃基：或者为如下基团：其中R₃为C_nH_2n+1，其中n≤4；或者为环己基、环己基甲基。